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【導電吸盤】在真空系統中保持半導體和非導體的基板吸附, 抗靜電材質的吸盤更能形成導電層,降低表面電阻率減少靜電荷的產生,常用於半導體製造領域
Blog - 【導電吸盤】在真空系統中保持半導體和非導體的基板吸附, 抗靜電材質的吸盤更能形成導電層,降低表面電阻率減少靜電荷的產生,常用於半導體製造領域